郑州某半导体行业心片打造厂，晶圆鑫霖环保方式中引发含硅、氟的特别的废液外理方式，设计构思外理大小1200吨/日。废液外理方式组成成分更复杂，具有纳米级级硅颗粒剂及盐酸，传统的外理方式无发考核标准。 废污水的成分及从何而来 主要感染物 ：电解质溶液硅（100-500nm粒度）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 种类环节 ：晶圆刻蚀化工废水处理方法（45%）、CMP药剂学厂家打磨化工废水处理方法（40%）、产品冲泡水（15%） 工作艺程序 革新按照"耐腐蚀水解+特种工艺膜离心分离"高技术路线规划： 钙盐滤渣 ：加药系统氯化钙快速清理氟铁离子（导出CaF2沉定） 斜板沉淀池症状 ：和好斜板沉淀池剂改变橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm内径膜公款私存微细粒子 反侵入系统性 ：脱盐率>98%，再利用率75% 多效蒸发成果 ：浓水段改变氟化物零减排 决定效率 氟化物溶液浓度：<8mg/L（低过国家地区一层条件10mg/L） 硅纯度：<5mg/L 水自然资源循环率：70%用做冷却后塔皮肤补水 危险废物减轻药量：减压蒸馏沉渣量较传统与现代方法限制60%