该厂为8厘米晶圆分娩线配置的超注射用水系统性，定期引发含硅废水外理150吨。废水外理中虽无天价属，但硅含量的高易水垢，且电阻值率需高达18MΩ·cm可以循环。已有外理工学院艺时未达到新制定的《电子技术工业生产水感染物摆放规范标准》（GB39731-2020）尤为摆放标准值。 废水处理方法组成优缺点 主要是污染破坏物 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、顆粒硅（孔径0.1-1μm） 特别的的要求 ：TOC<10μg/L，硼浓度<5μg/L 饮用水基本特性 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅有机物特征繁琐 处理施工工艺具体流程 特色化选取"梯级膜分开+电去阴阳离子"搭档生产工艺： 微滤预操作 ：1μm工业陶瓷膜过滤大颗粒肥料硅，通量持续80LMH 阴阳离子更换树酯 ：D201大孔硅胶粘合剂使用性气体吸附硅酸碳原子 下级RO体统 ：第一点段收购 率60%，第十二段分为高脱硼膜pcb板 EDI电去正离子 ：电流大小硬度2A/m²，定期除掉残留阴阳离子 太阳光的紫外线灭菌 ：254nm太阳极为线含量40mJ/cm² 技艺短板 发掘特用阻硅剂（有机肥料胺类符合物），廷缓膜污染源时期3倍 EDI版块研发流道结构设计，硅清掉率优化至99.8% 再线硅进行测试仪（检测条件0.1-500μg/L）体现精准度操作 运转初步成效 经再次方加测： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L下降0.3μg/L 体统利用率从原40%改善至68% 膜调换时间是调长至5年，年启动投资成本大幅度降低35%